涡旋真空泵的应用领域
涡旋泵已被广泛应用于半导体行业：薄膜制造设备、半导体器件封装设备。科学仪器行业：同步辐射光束线机、电子显微镜、极光试验设备、分析测试仪器。机械设备行业：材料制备设备、真空检测、材料提纯设备、超高真空排气设备。医院设备行业：透析机、生物制备与药品制备。包装行业：食品、药品、生物制品包装设备等领域。涡旋泵作为分子泵和小型低温泵的前级泵是获得无油真空系统很好的配置。
旋涡真空泵
旋涡真空泵是一种流量小、扬程高的叶片泵，效率低，性能曲线陡降，与其他叶片泵相比，旋涡泵结构简单、体积小、重量轻，具有自吸能力或借助于简单装置实现自吸。适用于输送黏度小于15°E的无固体颗粒的清洁液体。
旋涡真空泵它主要由叶轮、泵体、泵盖等组成。泵体和叶轮间形成环形流道，液体从吸入口进入，通过旋转的叶轮获得能量，从排出口排出。吸入口和排出口间有隔板，隔板与叶轮间有很小的间隙，吸入口与排出口是隔开的。
涡旋真空泵
涡旋真空泵(也称涡流泵)归属于叶片式泵。涡旋真空泵根据转动的叶轮叶片热对流道内液体开展三维流动性的角动量互换而运输液体。旋涡泵叶轮具备开式和闭试二种，闭试叶轮叶片凹形槽内设立正中间挡板。开式叶轮无正中间挡板。
闭试涡旋真空泵构造
闭试涡旋真空泵构造关键由叶轮、泵壳、隔舌构成。图中流道两边(或一端)与進口或出口互通，称之为开式流道。叶轮上开了均衡孔，用以均衡轴向力。流液由通道进到，在叶轮推动下做竖向涡旋健身运动得到动能，由出口排出来，挨近出口侧叶片间液体随叶轮返回泵通道。
涡旋真空泵组成与工作原理
无油涡旋真空泵由泵头、电机、机座等构成。泵头含有动、定涡旋盘、曲轴、密封件、风扇和泵壳等。涡旋盘为圆形平面和其上伸出的一条或几条渐开线螺旋形盘壁组成，定涡旋盘与动涡旋盘组成涡旋盘付构成无油涡旋真空泵的基本抽气机构。工作过程中动、定涡旋盘互不接触，依靠相对运动形成容积不断缩小的新月形吸气腔和压缩腔，通过吸气、压缩、排气的循环，使气体从抽气口吸入、排气口排出，实现对被抽腔体抽真空。
主要用途
真空镀膜机，分析测试仪器，真空排气/回收装置，真空炉，排气台，高能束线，等离子清洗，检漏仪，真空包装机，真空吸附搬运。
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